微机电之电容补偿结构及其方法

摘要

本发明为微机电之电容补偿结构及其方法，系于一矽基底上表面形成绝缘层，该绝缘层内制作有电容，该电容其中一侧至少包含一基础电容板及至少一补偿电容板，前述基础电容板与补偿电容板彼此独立且具备向外导通之金属电路，而前述金属电路连接于一开关；藉此，本发明有效避免电容不匹配的问题，且能减少不同生产批次间的差异。