| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF PHOTOMETRIQUE POUR MESURER ET REGLER L'EPAISSEUR DE COUCHES A EFFET OPTIQUE PENDANT LEUR FORMATION SOUS VIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2512545(B1) |
申请公布日期 |
1986.12.26 |
| 申请号 |
FR19820015245 |
申请日期 |
1982.09.08 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS GMBH |
发明人 |
HORST SCHWIECKER ET ALFONS ZOLLER;ZOLLER ALFONS |
| 分类号 |
G01B21/08;G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06;G01J1/16;G05D5/03 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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