发明名称 |
微影装置、用于微影装置之投影系统和阻尼器和元件制造方法 |
摘要 |
在一微影装置中,提供阻尼器,该等阻尼器可用于光学元件之安装台内,以便阻尼该光学元件相对于其被安装至之组件的运动。 |
申请公布号 |
TW200935182 |
申请公布日期 |
2009.08.16 |
申请号 |
TW097142699 |
申请日期 |
2008.11.05 |
申请人 |
ASML控股公司 |
发明人 |
温蒂 琳恩 法恩斯沃斯;圣堤亚哥E 迪 朴尔托;山米尔A 纳非耶 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G03B27/72(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |