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发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF D'ALLUMAGE D'UNE SOURCE D'IONS HYPERFREQUENCE
摘要
申请公布号 FR2572847(B1) 申请公布日期 1986.12.26
申请号 FR19840016884 申请日期 1984.11.06
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 RENE GUARLANDRIS, PAUL LUDWIG, JEAN-CLAUDE ROCCO ET FRANCOIS ZADWORNY;LUDWIG PAUL;ROCCO JEAN-CLAUDE;ZADWORNY FRANCOIS
分类号 H01J27/08;H01J27/16;H05H1/46;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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