离子植入系统及利用该离子植入系统之离子植入方法

摘要

本发明，其系提供一种可植入离子至大型基板及降低制造成本的离子植入系统以及利用此离子植入系统之离子植入方法。离子植入系统包含设置成一直线之复数个离子植入组件，且每一离子植入组件植入离子至基板之部份区域。这使得小型的离子植入系统得以将离子植入大型基板中。基板于第一方向移动通过离子植入系统，转弯，接着于相反之第二方向返回移动穿过离子植入系统，因此离子在基板于两个方向移动时植入至基板。第一方向中的第一路径可与第二方向中的第二路径间隔以同时处理两个基板。

主权项

一种植入离子至基板之离子植入系统，该离子植入系统包含：复数个离子植入组件，其系沿着一通道排列以植入离子至该基板，该复数个离子植入组件中的每一个植入离子至该基板的部分区域；以及一传输组件，其包含该通道，该传输组件透过该通道移动该基板，其中该传输组件更包含：复数个处理室，其对应于该复数个离子植入组件且在当该基板透过该通道沿着一路径以一第一方向移动时，以及当该基板在以该第一方向移动后，沿着相同之该路径，透过该通道以相反于该第一方向之一第二方向移动时，植入离子至该基板。