发明名称
摘要
申请公布号 JPS61204654(U) 申请公布日期 1986.12.23
申请号 JP19850087313U 申请日期 1985.06.10
申请人 发明人
分类号 B03C3/02;B03C3/019;B03C3/34;B03C3/36;F04D33/00;H01L41/00;H01L41/09 主分类号 B03C3/02
代理机构 代理人
主权项
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