发明名称 PROCEDE ET APPAREIL POUR FABRIQUER UN FILM MINCE CRISTALLIN.
摘要 <P>A)L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE ET UN APPAREIL POUR FABRIQUER UN FILM MINCE CRISTALLIN.</P><P>B)L'APPAREIL EST CARACTERISE EN CE QU'IL COMPREND DES MOYENS21, 23, 6 PERMETTANT DE FAIRE RAYONNER LE FAISCEAU D'ENERGIE SUR LA COUCHE1 DE SEMI-CONDUCTEUR ET DES MOYENS3, 4, 5 PERMETTANT DE DETECTER LA LUMIERE RAYONNEE PAR CETTE COUCHE DE SEMI-CONDUCTEUR.</P><P>C)LE PROCEDE EST CARACTERISE EN CE QUE LA LUMIERE RAYONNEE PAR LA COUCHE DE SEMI-CONDUCTEUR EST DETECTEE DE FACON QUE L'ETAT DE FUSION DE CETTE COUCHE DE SEMI-CONDUCTEUR SOIT CONTROLEE A PARTIR DE L'INFORMATION DETECTEE.</P>
申请公布号 FR2583572(A1) 申请公布日期 1986.12.19
申请号 FR19860008724 申请日期 1986.06.17
申请人 SONY CORP 发明人 YASUO KANOH, SHIGERU KOJIMA ET SETSUO USUI;KOJIMA SHIGERU;USUI SETSUO
分类号 H01L21/20;C30B13/00;C30B13/24;C30B13/28;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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