| 摘要 |
본 발명은 광학 기기의 해상력 계측 방법에 관한 것으로, 해상력을 측정하고자 하는 테스트 챠트 중 임의의 타겟 영역으로부터 각도를 검출하는 단계; 상기 검출된 각도 데이터를 비등간격으로 오버 샘플링하는 단계; 상기 오버샘플링된 데이터를 필터링하면서 리샘플링하여 등간격 데이터로 산출하는 단계; 상기 등간격 데이터의 1차 차분을 구하는 단계; 상기 1차 차분된 데이터를 푸리에 변환을 통하여 주파수 강도와 위상을 산출하는 단계; 및 상기 산출된 강도 데이터를 표준화 하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 독자 규격이 아닌 일반 규격으로 단순히 변화 및 비교 가능한 광학 기기의 해상력 측정 방법을 확보 할 수 있고, 계측 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 측정 환경에 대한 로버스트성을 확보할 수 있다. |
