| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN, INSBESONDERE ZUM BESCHICHTEN, VON SUBSTRATEN MITTELS EINER PLASMAENTLADUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3521318(A1) |
申请公布日期 |
1986.12.18 |
| 申请号 |
DE19853521318 |
申请日期 |
1985.06.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
HARTIG,KLAUS,DR.;DIETRICH,ANTON,DR. |
| 分类号 |
C23C14/12;B05D3/14;B05D7/24;C23C16/503;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/26 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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