| 发明名称 |
Modular gas handling apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2176270(A) |
申请公布日期 |
1986.12.17 |
| 申请号 |
GB19860014112 |
申请日期 |
1986.06.10 |
| 申请人 |
* EMCORE INC |
发明人 |
WILFRIED REINHOLD * WAGNER |
| 分类号 |
B01J4/00;F16K27/00;H01L21/205;(IPC1-7):F16K27/00;F16L41/08 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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