发明名称 PRODUCING NOBLE GAS PLASMA
摘要
申请公布号 GB8627399(D0) 申请公布日期 1986.12.17
申请号 GB19860027399 申请日期 1986.11.17
申请人 PAAR KG, ANTON;KNAPP, G 发明人
分类号 H01J65/04;H05H1/46 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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