Electronic Device having dielectric layer on graphene layer and method for forming the dielectric layer

摘要

그래핀층 상의 유전막을 포함하는 전자소자 및 그래핀층 상의 유전막의 형성 방법을 제공한다. 전자소자는 그래핀층을 포함한다. 상기 그래핀층 상에, 표면 상에 탄소를 함유하는 층을 구비하는 복수 개의 제1 반구형 구조체들, 그리고 상기 제1 반구형 구조체들 사이에 형성된 제2 반구형 구조체를 구비하는 유전막이 배치된다.