| 摘要 |
다이아몬드성 카본막의 성막 효율을 높일 수 있는 기술을 제공한다. 성막 장치(10)는, 내부에 처리 공간 V를 형성하는 챔버(1)와, 처리 공간 V에 배치된 저인덕턴스의 유도 결합형 안테나(21)와, 유도 결합형 안테나(21)에, 고주파 전력을 간헐적으로 공급하는 고주파 전력 공급부(24)와, 처리 공간 V에, 탄화수소를 포함하는 가스를 공급하는 가스 공급부(3)와, 막형성의 대상물인 기재(9)를, 유도 결합형 안테나(21)에 대해, 상대 이동시키는 상대 이동부(4)와, 유도 결합형 안테나(21)로의 고주파 전력의 공급이 일시적으로 정지되어 있는 시간대에, 기재(9)에 음의 전압을 인가하는 전압 인가부(5)를 구비한다. |
