Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines physikalischen Plasmas

摘要

Verfahren zum Erzeugen eines kalten physikalischen Plasmas (15), dessen Gastemperatur 100°C nicht überschreitet, mit den Schritten: – Anordnen von zwei Elektroden (12, 13) in einem Abstand (11); – Anlegen einer Wechselhochspannung (18) aus bipolaren Spannungspulsen zwischen den Elektroden (12, 13), um eine Gasentladung (14) zwischen den Elektroden (12, 13) hervorzurufen; und – Ausblasen eines Arbeitsgases (5), um eine zwischen den Elektroden (12, 13) verlaufende Entladungsstrecke (10), längs der sich die Gasentladung (14) erstreckt, von dem Abstand (11) weg zu formen; – wobei das Arbeitsgas (5) von jeder der beiden Elektroden (12, 13) weg in zwei sich kreuzenden Richtungen (7, 8) ausgeblasen wird, so dass eine V-förmige Entladungsstrecke (10) ausgebildet wird dadurch gekennzeichnet, – dass das Arbeitsgas (5) so ausgewählt wird, dass es dieselbe Zusammensetzung aufweist wie die Gasatmosphäre in einer Umgebung (6) der Elektroden (12, 13); und – dass ein Stromfluss zwischen den beiden Elektroden (12, 13) durch eine mit einer der Elektroden (12, 13) in Reihe geschaltete Kapazität begrenzt wird.