| 摘要 |
이상 발생시에 있어서의 기판 처리 장치의 스루풋 저하를 방지하는 기술을 제공한다. 어느 레시피가 처리 유닛에서 실행할 수 없게 되는 사상이 발생한 경우, 발생한 사상의 종류에 따라서는 다른 레시피이면 상기 처리 유닛에서 실행 가능한 경우가 존재한다. 발생 사상의 종류와 실행 중의 레시피를 대체할 수 있는 대체 레시피를 미리 대응시켜 둔다. 이상 발생시에는, 실행 레시피를 다른 레시피로 교체 가능한지, 다른 레시피로 대체할 수 있는 경우에는 그 레시피가 미완료의 작업에 포함되는지를 검토한다. 이들 조건이 만족되는 경우에는, 이후는 상기 처리 유닛에서 대체 레시피를 실행하도록 기판 처리 스케줄을 변경한다. 조건이 만족되지 않은 경우에는 상기 처리 유닛에서의 기판 처리를 중지한다. 기판 처리 장치에 있어서의 기판 처리의 중단을 가능한 한 회피할 수 있다. |
