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发明名称 BREAKING DEVICE FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS61280906(A) 申请公布日期 1986.12.11
申请号 JP19850124833 申请日期 1985.06.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKU NAOKI
分类号 B28D5/00;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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