| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR HEAT TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0106722(B1) |
申请公布日期 |
1986.12.10 |
| 申请号 |
EP19830401724 |
申请日期 |
1983.08.30 |
| 申请人 |
VU, DUY-PHACH;HAOND, MICHEL |
发明人 |
VU, DUY-PHACH |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B1/02;C30B13/24;(IPC1-7):C30B1/02;C30B1/08 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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