| 发明名称 |
METHOD OF DETECTING DEFECT IN THIN-FILM ON FLUORESCENT SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61278737(A) |
申请公布日期 |
1986.12.09 |
| 申请号 |
JP19860044275 |
申请日期 |
1986.03.03 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
AREKISANDAA REON FURAMUHORUTSU |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/956 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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