发明名称 Mirror wafer of compound semiconductor
摘要
申请公布号 US4628016(A) 申请公布日期 1986.12.09
申请号 US19850696578 申请日期 1985.01.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 YAMAGUCHI, JUN
分类号 H01L21/02;H01L21/306;H01L23/544;H01L29/06;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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