发明名称 PLASMA POSITION AND SHAPE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS61277082(A) 申请公布日期 1986.12.08
申请号 JP19850118801 申请日期 1985.06.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 KINOSHITA SHIGEMI
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/12 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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