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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS61277113(A) 申请公布日期 1986.12.08
申请号 JP19850116549 申请日期 1985.05.31
申请人 FUTABA CORP 发明人 NOMURA YUJI;SUZUKI TOSHIYOSHI
分类号 H01B5/14;C03C17/25;C23C18/12;G02F1/133;G02F1/1343;G09F9/30;H01B13/00;H01B13/34 主分类号 H01B5/14
代理机构 代理人
主权项
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