| 发明名称 |
MAGNETRON CATHODE SPUTTERING SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU557135(B2) |
申请公布日期 |
1986.12.04 |
| 申请号 |
AU19830014682 |
申请日期 |
1983.05.19 |
| 申请人 |
PHILIPS: GLOEILAMPENFABRIEKEN N.V. |
发明人 |
JACOBUS EDUARDUS CROMBEEN;JAN UISSER;GARY EVAN THOMAS |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J25/55;H05K3/16 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
