| 发明名称 |
PROCESSO PER LA FORMAZIONE DI SOTTILI PELLICOLE METALLICHE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1148818(B) |
申请公布日期 |
1986.12.03 |
| 申请号 |
IT19800021315 |
申请日期 |
1980.04.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ROTHMAN LAURA BETH;TOTTA PAUL ANTHONY;WHITE JAMES FRANCIS |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L23/485;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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