发明名称 |
Controlling flow of particles |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2175709(A) |
申请公布日期 |
1986.12.03 |
申请号 |
GB19860007606 |
申请日期 |
1986.03.26 |
申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KENJI * ANDO;YUJI * CHIBA;TATSUO * MASAKI;MASAO * SUGATA;KUNIJI * OSABE;OSAMU * KAMIYA |
分类号 |
C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;F15D1/00;(IPC1-7):F15D1/02;C23C8/06;C23C8/36 |
主分类号 |
C23C14/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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