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发明名称 SPHERICAL PLASMA ETCHING CHAMBER
摘要
申请公布号 JPS61270824(A) 申请公布日期 1986.12.01
申请号 JP19860113417 申请日期 1986.05.17
申请人 ALLIED CORP 发明人 SUCHIIBUN MAIKERU BOBIO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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