| 发明名称 |
SHUTTLE FOR CARRYING INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61267604(A) |
申请公布日期 |
1986.11.27 |
| 申请号 |
JP19850227080 |
申请日期 |
1985.10.14 |
| 申请人 |
MICRO COMPONENT TECHNOL INC |
发明人 |
JIYON EE JIEI UEDERU;MAIKURU PII KASUNAA |
| 分类号 |
H01L21/66;B65G11/00;B65G11/02;B65G11/20 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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