发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS61266568(A) 申请公布日期 1986.11.26
申请号 JP19860112410 申请日期 1986.05.16
申请人 UK ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 DEIBUITSUDO SUTATSUFUOODO RITSUKAABII;DERITSUKU SUTEIIBUN UITSUTOMERU;JIYOSEFU POORU KOODO;RICHIYAADO SUCHIYUAATO NERUSON
分类号 C23C14/34;C23C14/06;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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