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发明名称 BESCHLEUNIGUNGSVORRICHTUNG FUER DIE IONENIMPLANTATION
摘要
申请公布号 DE3616569(A1) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 DE19863616569 申请日期 1986.05.16
申请人 EATON CORP. 发明人 F. GLAVISH,HILTON;KENNETH SIMCOX,GORDON;STUART DENHOLM,A.
分类号 H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;H05H7/00;H05H9/00;(IPC1-7):H01J37/317;C23C14/48;H05H7/22 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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