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发明名称 REINIGUNGSVERFAHREN UND -VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DESSELBEN
摘要
申请公布号 DE3600716(A1) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 DE19863600716 申请日期 1986.01.13
申请人 MACHINE TECHNOLOGY,INC. 发明人 PAULFUS,BERNARD
分类号 B08B3/02;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/46;B05B13/06;B08B3/00 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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