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发明名称
摘要
申请公布号 JPS61186235(U) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 JP19850069194U 申请日期 1985.05.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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