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发明名称 VERFAHREN ZUM POLIEREN VON SILICIUMSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE3517665(A1) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 DE19853517665 申请日期 1985.05.15
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 LAMPERT,INGOLF;JACOB,HERBERT,DIPL.-CHEM.DR.
分类号 H01L21/304;B24B1/00;C25D11/32;C30B33/00;(IPC1-7):C30B33/00;C09G1/00;C09K3/14;C23F1/14;C25F3/30;C23C22/58;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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