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发明名称 A METHOD FOR PRODUCING A SINGLE CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 EP0091806(A3) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 EP19830302004 申请日期 1983.04.08
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SAKURAI, JUNJI
分类号 C30B13/22;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/208;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 C30B13/22
代理机构 代理人
主权项
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