PROCESS FOR FABRICATING INTEGRATED OPTICAL DEVICES ON LITHIUM NIOBATE
摘要
Processus de production de circuits intégrés optiques sur des substrats de niobate de lithium, dans lequel la composition des substrats de niobate de lithium est ajustée par un procédé d'équilibrage à lit pulvérulent. Ce procédé consiste à exposer les cristaux de niobate de lithium à un lit pulvérulent dans un creuset pendant un traitement thermique. Un procédé similaire est utilisé pendant la production de circuits intégrés optiques pour maintenir le rapport Li/Nb désiré dans le substrat.
申请公布号
WO8606847(A1)
申请公布日期
1986.11.20
申请号
WO1986US00946
申请日期
1986.04.29
申请人
AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH COMPANY
发明人
HOLMES, RONALD, JAMES, ALEXANDER;KIM, YOU, SONG;O'BRYAN, HENRY, MILES, JR.