发明名称 EINRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG MIT EINER PLASMATRON-ZERSTAEUBUNGSQUELLE
摘要
申请公布号 DD240913(A1) 申请公布日期 1986.11.19
申请号 DD19850280620 申请日期 1985.09.16
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT,MANFRED VON ARDENNE,,,DD 发明人 WINCKLER,RUDOLF,DD;BEISTER,GUENTHER,DD;KONITZER,MARTIN,DD;RESCHKE,JONATHAN,DD;SCHMIDT,HORST,DD
分类号 C23C14/16;C23C14/36;(IPC1-7):C23C14/36 主分类号 C23C14/16
代理机构 代理人
主权项
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