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发明名称
EINRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG MIT EINER PLASMATRON-ZERSTAEUBUNGSQUELLE
摘要
申请公布号
DD240913(A1)
申请公布日期
1986.11.19
申请号
DD19850280620
申请日期
1985.09.16
申请人
FORSCHUNGSINSTITUT,MANFRED VON ARDENNE,,,DD
发明人
WINCKLER,RUDOLF,DD;BEISTER,GUENTHER,DD;KONITZER,MARTIN,DD;RESCHKE,JONATHAN,DD;SCHMIDT,HORST,DD
分类号
C23C14/16;C23C14/36;(IPC1-7):C23C14/36
主分类号
C23C14/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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