发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 SU1269930(A1) 申请公布日期 1986.11.15
申请号 SU19853865598 申请日期 1985.03.06
申请人 ZAPOROZHSKOE PROIZV OB "PREOBRAZOVATEL" 发明人 ROMANOVSKIJ VLADIMIR F,SU;POLUKHIN ALEKSEJ S,SU;PAVLYNIV YAROSLAV I,SU;SERDYUK ANNA I,SU
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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