发明名称 DEVICE FOR CHECKING MASKS AND SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 SU1270554(A1) 申请公布日期 1986.11.15
申请号 SU19853889608 申请日期 1985.04.29
申请人 VILYANOV MIKHAIL E,SU;LYSOV VIKTOR,SU;NIKOLAEVA NINA B,SU;PETUKHOV ALEKSANDR N,SU;SHATS YAKOV B,SU;VOLKOV VLADIMIR V,SU;GERASIMOV LEV L,SU;LARIONOV YURIJ V,SU 发明人 VILYANOV MIKHAIL E,SU;LYSOV VIKTOR I,SU;NIKOLAEVA NINA B,SU;PETUKHOV ALEKSANDR N,SU;SHATS YAKOV B,SU;VOLKOV VLADIMIR V,SU;GERASIMOV LEV L,SU;LARIONOV YURIJ V,SU
分类号 G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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