| 发明名称 |
ELEMENT MOULE A BASE DE CARBURE DE SILICIUM DESTINE A ETRE UTILISE DANS LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2535312(B1) |
申请公布日期 |
1986.11.14 |
| 申请号 |
FR19830017099 |
申请日期 |
1983.10.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
ISAO SAKASHITA, TAKASHI TANAKA, MASAYOSHI YAMAGUCHI ET TOSHIAKI SUZUKI;TANAKA TAKASHI;YAMAGUCHI MASAYOSHI;SUZUKI TOSHIAKI |
| 分类号 |
C04B35/565;C04B35/573;C30B25/08;C30B31/10;C30B35/00;(IPC1-7):C04B35/56;H01L21/02 |
主分类号 |
C04B35/565 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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