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发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF D'OBTENTION D'UN COURANT GAZEUX CONTENANT UN COMPOSE A L'ETAT DE VAPEUR, UTILISABLE NOTAMMENT POUR INTRODUIRE CE COMPOSE DANS UN REACTEUR D'EPITAXIE
摘要
申请公布号 FR2569207(B1) 申请公布日期 1986.11.14
申请号 FR19840012788 申请日期 1984.08.14
申请人 MELLET ROBERT 发明人
分类号 C23C16/18;B01J4/00;B01J7/02;C30B25/14;C30B31/16;(IPC1-7):C30B25/14;G05D7/00;G05D7/06 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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