发明名称 |
半导体芯片附着装置 |
摘要 |
提供了一个适合于将半导体芯片12附着到衬底14上的半导体芯片附着装置10。用于消散热应力的金属缓冲部件20置于衬底14和半导体芯片12之间,以消散衬底和芯片在热循环中产生的应力。金属缓冲部件20是用银-锡组分的焊封材料焊封在衬底和芯片之间,焊接材料50于单独应用于将一芯片焊到衬底上并消散由热循环产生的应力。 |
申请公布号 |
CN86101652A |
申请公布日期 |
1986.11.12 |
申请号 |
CN86101652 |
申请日期 |
1986.03.14 |
申请人 |
奥林公司 |
发明人 |
迈克尔·J·普约;米利斯·C·费斯特;纳伦德拉·N·辛格迪奥;迪帕克·马胡利卡;萨特亚姆·C·奇鲁库里 |
分类号 |
H01L23/02;H01L23/12;H01L21/58 |
主分类号 |
H01L23/02 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利代理部 |
代理人 |
赵越 |
主权项 |
1、适用于将半导体芯片12附着到衬底14的一个半导体芯片附着装置10,其特征在于;一个衬底14;一个半导体芯片12;用于消散上述衬底和芯片在热循环中产生的热应力,而设置在上述衬底14和上述半导体芯片12之间并使间者焊牢的组件16。热应力消散组件16的特征在于;一具有在约35×10-7到约100×10-7英寸/英寸/度之间的热膨胀系数的薄缓冲部件20;和用于将上述金属缓冲部件焊于上述衬底和上述芯片的焊接材料18,19。 |
地址 |
美国伊利诺伊州62024 |