发明名称 半导体芯片附着装置
摘要 提供了一个适合于将半导体芯片12附着到衬底14上的半导体芯片附着装置10。用于消散热应力的金属缓冲部件20置于衬底14和半导体芯片12之间,以消散衬底和芯片在热循环中产生的应力。金属缓冲部件20是用银-锡组分的焊封材料焊封在衬底和芯片之间,焊接材料50于单独应用于将一芯片焊到衬底上并消散由热循环产生的应力。
申请公布号 CN86101652A 申请公布日期 1986.11.12
申请号 CN86101652 申请日期 1986.03.14
申请人 奥林公司 发明人 迈克尔·J·普约;米利斯·C·费斯特;纳伦德拉·N·辛格迪奥;迪帕克·马胡利卡;萨特亚姆·C·奇鲁库里
分类号 H01L23/02;H01L23/12;H01L21/58 主分类号 H01L23/02
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人 赵越
主权项 1、适用于将半导体芯片12附着到衬底14的一个半导体芯片附着装置10,其特征在于;一个衬底14;一个半导体芯片12;用于消散上述衬底和芯片在热循环中产生的热应力,而设置在上述衬底14和上述半导体芯片12之间并使间者焊牢的组件16。热应力消散组件16的特征在于;一具有在约35×10-7到约100×10-7英寸/英寸/度之间的热膨胀系数的薄缓冲部件20;和用于将上述金属缓冲部件焊于上述衬底和上述芯片的焊接材料18,19。
地址 美国伊利诺伊州62024