发明名称 Apparatus and methods for semiconductor wafer testing.
摘要
申请公布号 EP0201205(A1) 申请公布日期 1986.11.12
申请号 EP19860302565 申请日期 1986.04.07
申请人 PROMETRIX CORPORATION 发明人 MALLORY, CHESTER;PERLOFF, DAVID STEVEN;HUNG, VAN PHAM;DROBLISCH, SANDOR
分类号 H01L21/66;G01R27/00;G01R31/28;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/28;H05K13/02;H05K13/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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