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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COATING SEMICONDUCTIVE MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0055982(B1) 申请公布日期 1986.11.12
申请号 EP19820100011 申请日期 1982.01.04
申请人 POLAROID CORPORATION 发明人 KISLER, SEMYON
分类号 B05C5/02;B05C9/08;B05C11/02;B05D1/00;B05D1/26;B05D3/12;B05D3/14;G03C1/74;H01L21/56;(IPC1-7):B05D1/00;G03C1/00 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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