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发明名称 RESIST STRUCTURAL BODY
摘要
申请公布号 JPS61250635(A) 申请公布日期 1986.11.07
申请号 JP19860015986 申请日期 1986.01.29
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 ROORENSU BUINSENTO GUREGOO
分类号 G03C1/00;G03F7/09;G03F7/095;H01L21/027 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
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