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发明名称 VERFAHREN ZUR GLIMMENTLADUNGSAKTIVIERTEN REAKTIVEN ABSCHEIDUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEM MATERIAL AUS EINER GASPHASE
摘要
申请公布号 DE3516078(A1) 申请公布日期 1986.11.06
申请号 DE19853516078 申请日期 1985.05.04
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH 发明人 GAERTNER,GEORG,DR.;JANIEL,PETER;LYDTIN,HANS,DR.
分类号 C23C16/50;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/509;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/06 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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