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发明名称 INTERFEROMETRISCH-INKREMENTALE VORRICHTUNG ZUR EBENHEITSMESSUNG
摘要
申请公布号 DE3612157(A1) 申请公布日期 1986.11.06
申请号 DE19863612157 申请日期 1986.04.11
申请人 VEB FEINMESSZEUGFABRIK SUHL 发明人 JAEGER,GERD,PROF.DR.SC.TECHN.;BUECHNER,HANS,DR.-ING.
分类号 G01B9/02;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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