发明名称 METHOD OF PRODUCING DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY CELLS (RAM) ACCORDING TO THE DOUBLE POLYSILICON GATE TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 EP0090161(B1) 申请公布日期 1986.11.05
申请号 EP19830101406 申请日期 1983.02.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 MULLER, WOLFGANG, DR.
分类号 H01L27/10;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/10;G11C11/24;H01L21/76 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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