发明名称 |
METHOD OF PRODUCING DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY CELLS (RAM) ACCORDING TO THE DOUBLE POLYSILICON GATE TECHNOLOGY |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0090161(B1) |
申请公布日期 |
1986.11.05 |
申请号 |
EP19830101406 |
申请日期 |
1983.02.14 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
MULLER, WOLFGANG, DR. |
分类号 |
H01L27/10;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/10;G11C11/24;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L27/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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