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发明名称
EVALUATING THE THICKNESS OF A LAYER OR DETERMINING CHANGE IN THERMAL CHARACTERISTICS WITH DEPTH BY THERMAL WAVE DETECTION
摘要
申请公布号
EP0097473(B1)
申请公布日期
1986.11.05
申请号
EP19830303411
申请日期
1983.06.13
申请人
THERMA-WAVE INC.
发明人
ROSENCWAIG, ALLAN
分类号
G01B15/02;G01B11/06;G01B21/08;G01N21/17;G01N21/71;G01N25/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06;G01N21/59
主分类号
G01B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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