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发明名称 SOURCE FOR ELECTRON-BEAM VAPOUR DEPOSITION OF HIGH-MELTING METALS
摘要
申请公布号 PL138679(B1) 申请公布日期 1986.10.31
申请号 PL19830243761 申请日期 1983.09.15
申请人 发明人
分类号 C23C;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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