| 发明名称 |
OPTICAL ABSORPTION SPECTROSCOPY FOR SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0155744(A3) |
申请公布日期 |
1986.10.29 |
| 申请号 |
EP19850200429 |
申请日期 |
1985.03.20 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
BLOOD, PETER |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/265;(IPC1-7):G01R31/26;G01N21/17;H01L31/10 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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