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发明名称
SERVO LOOP SYSTEM
摘要
申请公布号
EP0084824(B1)
申请公布日期
1986.10.29
申请号
EP19830100291
申请日期
1983.01.14
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CANN, GEORGE WINSTON;DAVIS, DONALD EUGENE;TROTTER, RALPH ROBERT
分类号
G05D3/12;G05B19/23;G05D3/20;H01L21/027;(IPC1-7):G05D3/14;G05B13/02
主分类号
G05D3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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