发明名称 PATTERN DETECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0070017(B1) 申请公布日期 1986.10.29
申请号 EP19820106185 申请日期 1982.07.12
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HARA, YASUHIKO;AKIYAMA, NOBUYUKI;FUSHIMI, SATORU;OSHIMA, YOSHIMASA;AOKI, NOBUHIKO
分类号 G01N21/956;G01R31/308;G03F7/20;(IPC1-7):G01M11/00;G01R31/28;G01N21/88;G01B11/02 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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